Plasmareinigung
Was ist Plasma?
Wird einem Stück Materie kontinuierlich Energie zugeführt, so erhöht sich seine Temperatur und es geht über den flüssigen in den gasförmigen Zustand über. Wird die Energiezufuhr nun weiter fortgesetzt, so wird die bestehende Atomhülle aufgebrochen, so dass Radikale, negativ geladene Elektronen und positiv geladene Ionen entstehen. Dieses Gemisch wird als Plasma und oft auch als der “vierte Aggregatzustand“ bezeichnet.
Blick in einem Reaktor während eines Plasmaprozesses
Künstlich kann dieses Niederdruckplasma erzeugt werden, indem in einer Vakuumkammer Gase durch Anlegen von hochfrequenten elektromagnetischen Feldern (z.B. Mikrowelle) zur Entladung gebracht werden. Das Gas wird ionisiert, Radikale und UV-Strahlung werden erzeugt. So entsteht ein hochaktives Prozessgas, das mit der Oberfläche des Behandlungsgutes reagiert.
Prinzip des Niederdruckplasmas
Reinigen und Ätzen von Oberflächen
Entscheidend für den Reinigungs- und Ätzeffekt im Plasma ist die Bildung gasförmiger und damit flüchtiger Produkte. Die Bestandteile des Plasmas reagieren mit den organischen Verunreinigungen und werden schon bei Raumtemperatur zu Wasser und Kohlendioxid abgebaut:
(-CH2-CH2-)n + 3n O2 2n CO2 + 2n H2O
